的界限清晰度,都让郑玉的眼睛越瞪越大。
“老郑?”
旁边几位副所长看他半天不说话,着急地催促。
郑玉猛地站起身,转过身,脸上因为激动涨得通红,他用力拍着自己的大腿。
“好!好!太好了!苏总工!了不起!太了不起了!”
他几乎是吼出来的。
“这技术!
这精度!别说合格!
这已经比我们掌握的最机密资料里显示的、那个ASM公司旗舰机上用的顶级反射镜性能还要强!还要稳定!强一截!”
他一把抓住苏定平的手,握得死紧。
“苏总工!
这份图纸和技术,我们927所,全力配合!我们有全国最好的光学冷加工基地,有最成熟的光学薄膜镀膜产线技术骨干!我敢立军令状!
就凭这张图,这份工艺,我们不但能给你稳定量产符合要求的EUV光刻机用反射镜,而且性能,绝对能压ASM一头!彻底打破他们在这块铁桶般的垄断墙!”
苏定平感受着手臂上传来的巨大力量,看着眼前这位激动得语无伦次的老专家眼中爆发出的炽热光芒,心中悬着的一块巨石终于落下一半。
“那就拜托郑所长了!时间紧!需要哪方面的协同实验,龙心团队全力配合!”
“没问题!”
郑玉拍着胸脯。
“你这份图纸和工艺一到,就是我们全所的冲锋号!”
几个月后,第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的EUV极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统,在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。
当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时,所有人看到那醒目的结论——“核心面型精度RMS误差。
≤0.08nm;薄膜层厚均匀度误差。
≤0.09nm;综合光转化效率与稳定性全面超越对标样品”。
这一刻,没人欢呼雀跃,反而是一阵死一般的寂静。
袁涛看着报告上那令人眩晕的数据对比,嘴唇微微翕动了几下,最终只发出几个嘶哑的音节。
“成了……真他娘的……干成了!”
ASM那曾经被视为无法逾越的、用无数专利和百年技术积累堆砌而成的高耸城墙反射镜壁垒上,硬生生被砸出了一个巨大的缺口!
苏定平重重地靠倒在椅背上,
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